產品介紹：

氟利昂MEMS氣體傳感器是精訊暢通根據MEMS生產工藝，并主要用于檢測空氣中氟利昂氣體濃度的一款氣體檢測儀器。氟利昂MEMS氣體傳感器所使用的氣敏材料是對氟利昂靈敏度高的金屬氧化物半導體材料，該材料在清潔空氣中電導率較低。當環境空氣中有氟利昂氣體存在時，氟利昂傳感器電導率就會發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與氟利昂氣體濃度相對應的輸出信號。

產品特點：

1、微型化設計

產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

產品功耗低，工作時基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。

產品參數：

檢測氣體：氟利昂

測量范圍：10-1000ppm(支持定制)

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負載電阻RL：可調

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標準測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V