產品介紹：

MEMS VOC傳感器是精訊暢通采用MEMS氣體檢測技術來檢測環境中VOC氣體濃度的一款氣體傳感器。MEMS VOC傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料，對VOC氣體的靈敏度高，反應速度快。當環境空氣中有VOC氣體存在時，該VOC傳感器的電導率會發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與VOC氣體濃度相對應的輸出信號。

產品特點：

1、微型化設計

產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

產品功耗低，工作時基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。

產品參數：

檢測氣體：VOC

測量范圍：0-100ppm

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負載電阻RL：可調

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標準測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V